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      反射式膜厚測(cè)量?jī)x

      更新時(shí)間:2026-02-10

      簡(jiǎn)要描述:

      A3-SR系列反射式膜厚儀可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜,手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。

      訪問次數(shù):5434廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

      反射式膜厚測(cè)量?jī)x

      A3-SR 系列反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜,手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。A3-SR系列可用于測(cè)量2納米到3000微米的膜厚,測(cè)量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下,A3-SR 還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。配手持式探頭,A3-SR 可以用來(lái)一鍵式測(cè)量車燈罩表面硬化膜(包括過渡層)和背面的防霧層,精度達(dá)到0.02um, 只需1秒鐘,還可以測(cè)量?jī)?nèi)飾件,外飾件的鋁陽(yáng)極氧化層和漆層的厚度,精度達(dá)到0.02um

      此外,A3-SR 還可用于測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠,實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量,每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù),同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

      同時(shí),客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用:半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測(cè)量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測(cè)量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合

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      產(chǎn)品型號(hào)和系統(tǒng)設(shè)置:

      產(chǎn)品型號(hào)

      A3-SR-200

      產(chǎn)品尺寸

      W270*D217*H90+H140

      測(cè)試支架

      測(cè)試方式

      紫外+可見+UV+VIS

      反射(R)

      波長(zhǎng)范圍

      250-1050納米

      光源

      鎢鹵素?zé)?span>+氘燈 鹵素?zé)魳?biāo)稱壽命10000小時(shí),氘燈標(biāo)稱壽命1500小時(shí)

      光路和傳感器

      光纖式(FILBER )+進(jìn)口光譜儀

      入射角

      0 (垂直入射) (0 DEGREE)

      參考光樣品

      硅片

      光斑大小

      LIGHT SPOT

      About   1 mm(標(biāo)配,可以根據(jù)用戶要求配置)

      樣品大小

      SAMPLE SIZE

      10 mm TO 300 mm (可以根據(jù)用戶要求配置)

      膜厚測(cè)量性能指標(biāo)(THICKNESS SPECIFICATION):

      產(chǎn)品型號(hào)

      A3-SR-200

      厚度測(cè)量 1

      Thickness范圍

      2 nm - 100 200um

      折射率 1(厚度要求)

      N  

      50nm and up

      準(zhǔn)確性 2  

      Accuracy

      2 nm 0. 5%

      精度 3

      precision

      0.1 nm

      1表內(nèi)為典型數(shù)值, 實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

      2 使用硅片上的二氧化硅測(cè)量,實(shí)際上材料和待測(cè)結(jié)構(gòu)也會(huì)影響性能

      3 使用硅片上的二氧化硅(500納米)測(cè)量30次得出的1階標(biāo)準(zhǔn)均方差,每次測(cè)量小于1.

      軟件(SOFTWARE)

      檢測(cè)項(xiàng)目

      標(biāo)準(zhǔn)型

      層數(shù)

      10

      材料

      表格型和函數(shù)型

      粗糙度模型

      反射/透射

      反射型+透射型

      材料庫(kù)

      表格型+函數(shù)型

      入射角

      垂直入射

      折射率測(cè)量




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